更新时间:2024-10-31

| 产地 | 进口 | 加工定制 | 是 |
|---|---|---|---|
| 质保 | 1年 |
日本科赋乐金属密封式质量流量控制器
日本KOFLOC5400系列质量流量控制器-金属密封
金属密封,泄漏率1*10-11pa·m³/s以下
适用于高真空、半导体、剧毒、强腐蚀气体环境下
±15VDC供电(dian)性能稳定,0-5V模拟(ni)信号更加通(tong)用
日本科赋乐金属密封式质量流量控制器
性能参数
| 分度值(N2) | 10SCCM-20SLPM(其次50SLM |
| 的精密度 | ±1.0%FS |
| 再次性 | ±0.2%FS |
| 崩溃耗时 | 1秒范围之内 |
| 击穿电压 | 1.0Mpa |
| 国外大负担 | O.3Mpa |
| 工作压值 | 0.05-0.3Mpa |
| 遗漏率 | 1*10-11pa·m³/s一下 |
| 温暖领域 | 5-45℃ |
| 室内湿度条件 | 10-90%RH(难以起霜) |
| 原料 | 自身SUS316L |
| 封严圈SUS316L、PTFE | |
| 组合件接口标准 | DB9 |
| 模拟仿真电磁波 | 0-5V显示/所在 |
| 送电 | +15VDC(±5%)100mA;-15VDC(±5%)100mA; |
| 内部管道连接方式 | 选择的1/4UJR |
| 标准配置1/8UJR | |
| 容量 | 约1000g |